CCSS

케미컬이 제조사를 떠나 팹 장비에 닿기까지 여섯 단계를 거칩니다. 모든 단계가 같은 데이터 스키마를 쓰기 때문에 배치 하나의 전 이력을 끊김 없이 따라갈 수 있습니다.

Supply chain

01Sourcing & Incoming

제조사에서 들어온 벌크 케미컬은 하역 전에 배치 단위로 샘플링합니다. 규격을 벗어나면 하역하지 않고 그대로 되돌립니다.

02Bulk Storage

전해연마한 전용 탱크에 질소 블랭킷을 유지한 채 저장합니다. 액위·압력·온도가 15초 간격으로 기록됩니다.

03Tanker Transfer

자체 탱크로리로 팹 인근 거점까지 옮깁니다. 적재 중량과 배럴 온도, 주행 진동이 운송 기록으로 남습니다.

04Day Tank & Filtration

거점 데이 탱크에서 이중 필터를 거칩니다. 필터 차압이 기준을 넘으면 공급을 멈추지 않고 예비 계열로 전환합니다.

05CCSS Distribution

이중화 펌프가 팹까지 루프를 순환시킵니다. 유량, 압력, 입자 수, 저항률을 루프별로 따로 기록합니다.

06Point of Use & Recovery

VMB와 POU 패널에서 장비로 분배하고, 사용 후 폐액은 같은 기준으로 계측해 회수합니다.

How purity is protected

오염은 대부분 경계에서 생깁니다. 탱크는 정상인데 하역에서 들어오고, 하역은 정상인데 필터 교체 때 들어옵니다.

Nexil은 경계마다 값을 남깁니다. 커플링 체결 횟수, 질소 퍼지 시간, 필터 교체 이력까지 배치에 붙여 두기 때문에 원인 규명이 추측으로 끝나지 않습니다.

Redundancy and continuity

모든 공급 루프는 펌프와 필터를 이중으로 갖춥니다. 한쪽을 정비하는 동안에도 공급은 끊기지 않습니다.

주요 품목은 두 거점에서 동시에 저장해 이중화합니다. 사고가 나도 최대 72시간 안에 대체 거점에서 공급을 재개하는 것을 목표로 운영합니다.

Safety first, and on paper

KOSHA PSM과 위험물안전관리법에 따라 저장·운송·취급 절차를 문서화하고, 연 2회 외부 감사를 받습니다.

누액 감지, 인터록, 비상 차단은 설계 단계에서 함께 검증합니다. 시험 성적서는 인수인계 문서에 포함됩니다.

98% · SEMI Grade 4 · 금속 25항목 100ppt 이하

31% · 저분해 안정화 · 입자 4.2/ml

29% · 저탄소 · TOC 5ppb 이하

49% · 폐쇄 루프 공급 · 회수 연계

99.99% · 수분 50ppm 이하

2.38% · 온도 ±0.2 ℃ 제어