Bulk Storage
고순도 전용 탱크팜. 내면 전해연마와 질소 블랭킷으로 저장 중 오염과 분해를 막고, 액위·압력·온도를 15초 간격으로 남깁니다.
벌크 탱크의 내면 처리, 질소 블랭킷 압력, 액위 변화가 15초 간격으로 기록됩니다. 배치가 언제 어떤 상태로 저장돼 있었는지가 출하 성적서에 그대로 따라갑니다.
Purity is decided in the tank. — Bulk Storage 공정 설비 애니메이션
순도는 제조사가 보증하는 숫자가 아니라, 탱크에서 팹 밸브까지 지켜낸 결과입니다. Nexil은 1998년부터 벌크 저장과 탱크로리 운송, 중앙 공급 시스템, 폐액 회수를 한 회사가 맡아 왔습니다. 그 사이에서 값이 끊기지 않는다는 것, 그것이 저희가 만드는 차이입니다.
계측값은 요약되지 않고 배치 번호에 붙어 그대로 저장됩니다. 저장 탱크의 액위와 블랭킷 압력, 운송 중 온도와 진동, 공급 루프의 유량과 필터 차압, 회수 농도까지 하나의 이력으로 이어집니다.
덕분에 6개월 뒤 팹에서 이상이 보고되어도, 그 배치가 지나온 모든 구간을 되짚을 수 있습니다.
고순도 전용 탱크팜. 내면 전해연마와 질소 블랭킷으로 저장 중 오염과 분해를 막고, 액위·압력·온도를 15초 간격으로 남깁니다.
자체 탱크로리 68대 운영. 적재 중량과 배럴 온도, 주행 진동을 계측해 도착 전에 하역 가능 여부를 판단합니다.
중앙 화학물질 공급 시스템의 설계·시공·검증. 이중화 펌프와 필터, 누액 감지, 인터록까지 하나의 패키지로 넘겨드립니다.
밸브 매니폴드 박스(VMB)와 POU 패널까지 직접 공급합니다. 분배 지점마다 유량과 압력을 개별로 기록합니다.
ICP-MS 25개 항목, 입자 수, 저항률, TOC를 배치마다 측정합니다. 성적서는 출하 전에 포털에 먼저 올라갑니다.
폐황산·폐IPA 회수와 재생. 회수 농도와 재생률이 공급 데이터와 같은 이력에 남아 순환 실적을 그대로 보여줍니다.
탱크로리 68대에 적재 중량, 배럴 온도, 3축 진동 계측을 달았습니다. 출발부터 하역까지의 이력이 하나의 운송 기록으로 묶여 케미컬 배치에 붙습니다.
The road is measured the same way the tank is. — Tanker Logistics 공정 설비 애니메이션
이중 펌프와 이중 필터를 갖춘 공급 루프가 팹까지 직접 연결됩니다. 순환 유량, 라인 압력, 필터 차압, 입자 수를 한 이력에서 함께 봅니다.
Eight chemicals, one room, one record. — Central Supply 공정 설비 애니메이션
1층 CCSS 룸의 데이 탱크에서 출발한 케미컬은 라이저를 타고 4층 팹까지 올라갑니다. 층마다 밸브 매니폴드에서 분기되고, 마지막에는 장비 한 대의 12개 챔버로 각각 내려가 웨이퍼에 닿습니다. 사람이 케미컬을 직접 옮기는 구간은 한 곳도 없습니다.
From the first floor to the fourth, untouched. — Fab Delivery 공정 설비 애니메이션
세 거점은 같은 운영 표준과 같은 데이터 스키마를 씁니다. 공급 거점이 달라져도 조건을 다시 잡을 필요가 없고, 어느 루프에서든 같은 형식의 리포트를 받게 됩니다.