Icheon CCSS hub goes live with 42 delivery loops

이천 CCSS 운영센터가 가동을 시작했습니다. 42개 공급 루프에서 8종의 케미컬을 팹 라인까지 직접 보냅니다.

기존에는 케미컬마다 공급 설비가 흩어져 있었습니다. 펌프 상태, 필터 차압, 유량은 각각 다른 시스템에 기록됐고, 이상이 생기면 어느 구간에서 시작됐는지 확인하는 데만 반나절이 걸렸습니다.

이천 센터는 8종의 케미컬을 한 방에서 관리합니다. 저장 탱크에서 팹 밸브까지 흐르는 모든 값이 하나의 이력으로 이어집니다.

황산, 과산화수소, 암모니아수, 불산, IPA, TMAH, 인산, 슬러리 8종을 다룹니다. 각 루프는 이중 펌프와 이중 필터를 갖췄고, 한쪽을 정비하는 동안에도 공급이 끊기지 않습니다.

순환 유량, 라인 압력, 입자 수, 저항률을 15초 간격으로 기록합니다. 고객사는 자기 루프의 값을 포털에서 그대로 봅니다.

드럼·IBC 반입 횟수가 월 1,100회에서 90회로 줄었습니다. 반입 동선이 줄면 파티클 유입도 줄고, 무엇보다 사람이 케미컬을 직접 다루는 횟수가 줄어듭니다.

초도 공급은 2026년 7월부터입니다.